昊石新材料申请 MOCVD 石墨载盘温度均匀性调控装置及方法专利，有效减少温度差异

金融界 2025 年 4 月 5 日消息，国家知识产权局信息显示，昊石新材料科技南通有限公司申请一项名为“MOCVD 石墨载盘温度均匀性调控装置及方法”的专利，公开号 CN 119753642 A，申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示，本发明公开了 MOCVD 石墨载盘温度均匀性调控装置及方法，具体涉及半导体设备制造技术领域，包括反应室，所述反应室的内部设有石墨基座。本发明通过设置电磁加热组件，第一电磁线圈靠近石墨基座底部区域，线圈密度适当增大，可增强底部加热效果，并且第二电磁线圈采用螺旋形与环形相结合的方式环绕在反应室中部区域，使磁场分布更均匀，进而能够高效地诱导石墨基座产生均匀的涡电流，实现石墨载盘自身发热，使得热量从载盘内部生成并均匀散布于整个载盘表面，有效减少了中心和边缘的温度差异，避免了采用电阻炉发热体致使因热辐射和热传导而导致靠近发热体部分温度过高、产生较大温度梯度以及载盘上不同位置温差较大的问题。

天眼查资料显示，昊石新材料科技南通有限公司，成立于2016年，位于南通市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本4135.7713万人民币，实缴资本1911.0885万人民币。通过天眼查大数据分析，昊石新材料科技南通有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，专利信息45条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自金融界